电容性等离子体
应用ID:23351
NIST气态电子会议为研究电容耦合等离子体(CCP)反应器提供了一个平台,这是本应用程序所基于的。
与电感病例相比,电容耦合等离子体的工作原理不同。在CCP反应器中,血浆通过在充满低压气体的小间隙(通常为1 Torr,在这种情况下,在这种情况下,气体为氩)来维持血浆。功率沉积机理在CCP反应器中的高度非线性,系统需要足够的RF循环才能达到周期性的稳态溶液。
此应用程序允许用户提供输入来配置等离子和电介质的属性以及一般操作输入,例如单元格的物理尺寸,RF循环的数量以及驱动频率和电压。
图显示了最后一个RF周期的时间/周期平均数据和瞬时数据以及激发物种的演化。还提供时间平均数据的动画。Furher,CCP模拟器返回了周期平均沉积的功率和峰值电流。
此应用程序示例说明了这种类型的应用程序,该应用程序名义上使用以下产品构建:乐动体育app无法登录
但是,可能需要其他产品来完全定义和建模。乐动体育app无法登录此外,也可以使用以下产品组合中的组件来定义和建模此示例:
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