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微波等离子体化学蒸气沉积反应器中的氢等离子体建模

Gayathri Shivkumar，Siva Sashank Tholeti，Maje Alrefae，Aravind Shaj，Timothy S Fisher和Alexeenko，Alexeenko，
普渡大学，西拉斐特，美国，美国
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使用高频麦克斯韦求解器和传热求解器，在COMSOL多物理学中实现了微波等离子体化学蒸气沉积（MPCVD）系统中氢等离子体的2D轴对称模型。Funer的模型是根据实验观测来校准的。使用Bolsig+（在给定的局部电场下弱离子化气体中的电子中的玻尔斯曼方程求解器）确定分数电子能量损耗。

请参考以下论文以引用这项工作：
G. Shivkumar，S。S。Tholeti，M。A。Alrefae，T。S。Fisher和A. A. Alexeenko，“微波等离子体化学蒸气沉积反应堆中氢血浆的分析”，《应用物理学杂志》 119，113301（2016）。

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