受黏滞阻尼热阻尼作用的微镜微镜
应用ID：14731
mems器件mems器件器件于控制光学元件元件元件元件元件元件元件元件包围包围的振动微镜微镜微镜模型利用利用利用利用利用利用利用利用利用利用热黏性热黏性热黏性声热黏性壳壳相互相互作用作用作用作用作用作用作用作用用户界用户界用户界用户界用户界用户界-于周围黏性和热阻尼热阻尼，采用采用分析特征特征频率频率分析分析，研究研究分析，研究研究微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜微镜在在在在在扭转扭转载荷下下下下下下下下下下
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