mems执行器执行器多
时：1:02:58
（mems）涉及涉及多个物理：包括物理物理物理物理电磁结构，传热、mems器件mems器件器件器件器件器件根据功能功能分类分类为执行器执行器执行器传感器传感器传感器执行器，包括包括，应用领域的工作的工作，等等等等的各自我们我们将将着重着重着重介绍介绍介绍介绍如何如何如何如何使用如何如何如何使用如何如何如何如何如何如何通过仿真，预测预测预测，以及以及优化设计。我们还还将有限有限元元元仿真元仿真仿真仿真模型与与电路电路电路电路电路电路耦合电路电路起来电路电路耦合起来电路耦合mems执行器执行器执行器在网络研讨会中，我们我们网络网络通过通过操作说明说明此此类建模的的要点及注意