产品：分子流块模块

具有分子流量模块的真空系统中的低压气流模型

在离子植入器中，沿梁路径的平均数分子的平均数密度被用作评估设计的功绩。必须将其计算为晶圆角度的函数，旋转约一个轴。

理解和预测自由分子流

真空工程师和科学家使用分子流块模块设计真空系统并理解和预测低压气流。随着这些工具改善理解，降低原型成本并加快开发的速度，在设计周期中使用仿真工具已变得更加普遍。真空系统通常对原型价格昂贵。因此，在设计过程中增加模拟的使用可能会节省大量成本。真空系统内发生的气流与常规流体流问题不同。在低压下，气体分子的平均自由路径与系统的大小相当，气体稀疏变得很重要。流动方式通过Knudsen数（KN）进行定量分类，该数字代表分子平均自由路径与气体流量几何大小的比率：

而微流体模块分子流量模块用于建模滑动和连续流，设计用于精确模拟自由分子流程中的流。从历史上看，该制度中的流量是通过直接模拟蒙特卡洛（DSMC）方法建模的。这通过系统计算大量随机粒子的轨迹，但在建模过程中引入了统计噪声。对于低速流，例如真空系统中遇到的流量，DSMC引入的噪声使模拟不可行。

附加图像：

使用角系数方法（在自由分子流界面中使用）和使用数学粒子跟踪界面的蒙特卡洛方法（需要粒子跟踪模块），使用角系数方法通过RF耦合器进行传输概率。

低压，低速气流的准确建模

分子流量模块设计为提供以前不可用的模拟功能，以在复杂几何形状中精确建模低压气流。它是模拟真空系统的理想选择，包括用于半导体处理，粒子加速器和质谱仪的系统。还可以解决小通道应用（例如，纳米多孔材料中的页岩气勘探和流动）。分子流量模块使用角系数方法模拟稳态的游离分子流，从而可以在表面上计算分子通量，压力，数量密度和热通量。数量密度可以在周围表面上分子通量的域，表面，边缘和点上重建。您可以对等温和非等热分子流进行建模，并计算出气体分子的热通量贡献。