等离子体模块

非平衡等离子体

血浆模块提供了内置的用户界面，用于建模由静态或随时间变化的电场维持的低温等离子体反应器。这些接口每个定义了域方程，边界条件，初始条件，预定义的网格和使用求解器设置的预定义研究，以进行稳定和瞬态分析，以及预定义的图和衍生值。所有物种（电子，离子和中性物质）的传输方程都可以通过泊松方程自稳定。电子的平均能量方程也可以通过对电子如何从电场中获取能量并在与背景气体碰撞中失去能量来解决。

血浆化学反应

血浆化学对于获得现实的仿真结果至关重要。使用血浆模块，您可以定义电子撞击反应，重种之间的反应和表面反应。

血浆化学决定电子在与背景气体碰撞中如何损失或获得能量。等离子体模块提供了用于建模电子影响反应的专用功能，这些反应可能导致电离，激发和固定。可以通过横截面数据定义电子影响反应，并且可以通过对电子能量分布函数进行适当整合来获得源项。

用于建模ICP反应器的多物理接口

这电感耦合等离子体多物理接口¹用于研究由诱导电流持续的排放。该多物理接口连接了从等离子体接口到磁场界面和夫妻由于感应电流返回到达等离子体界面。在频域中求解磁场，并在时域中求解等离子体。

用于建模平衡放电的多物理界面

等离子体模块包括用于在热力学平衡中建模等离子体的接口。在热力学平衡中，电子和重种具有相同的温度，并且血浆可以以单个温度为特征。为了在这种情况下对等离子体进行建模，等离子模块提供了几个平衡排放基于电激发类型的接口：平衡直流排放，，，，平衡电感耦合等离子体¹， 和组合电感/直流排放¹。这些界面将血浆描述为单个流体，并在磁流失动力学方法中具有一个温度。这平衡排放界面将流体流动，传热，磁场和电流接口。血浆物理学是由多物理耦合特征引入的，该特征将特定的热源纳入流体和血浆特性，例如电导率，热电容，辐射传热等。

等离子 - 表面相互作用的边界条件

作为等离子体模块中内置用户界面的一部分，有多种边界条件可以描述等离子体如何与表面相互作用。例如，通过施加涂抹的电子密度和表面的能量通量很容易定义墙特征。此功能通过传输到电子传输方程来引入损失。您可以在表面上包括其他通量来源，例如二级电子发射和通用电子通量。

带电颗粒的通量会在电极上自动计算，并可以添加到模型的外部电路中。如果介电与血浆接触，则可以从表面的带电物种的通量计算表面电荷积累。

CFD和背景气体的传热分析

这等离子体界面可以与流量和传热界面结合使用，以建模背景气流和加热。您还可以模拟血浆周围材料的热传递。电子从田野中获得能量，并在与背景气体的碰撞中失去能量。如果压力足够高，则该机制会导致重要的气体和表面加热。这等离子体界面会自动计算血浆反应产生的热源，并可以用于传热界面。还计算出粘度和密度等流体特性等离子体界面并可用于流体流界面。

用于建模CCP反应堆的物理接口

该等离子体模块包括一种专门的数值方法，用于对CCP进行建模，其计算时间明显更快，而不是传统方法。通过在时间域中求解，而不是在时间域中求解，而是通过在基础数学方程式中添加额外的尺寸来计算周期性稳态解决方案。这个额外的维方程代表一个RF循环，并实施周期性边界条件。这避免了必须解决数十万或数十万个RF循环，这通常需要很长时间才能到达周期性稳态溶液。该方法在大幅度缩短计算时间的同时，保持模型的所有非线性。

用于建模微波等离子体的多物理接口

这微波血浆多物理接口²用于研究由电磁波持续的放电（波加热的放电）。选择此接口时，等离子体接口和an电磁波接口自动生成，以及多物理耦合。这血浆电导率耦合特色夫妻等离子体电导率电磁波界面和电子热源功能伴侣由此产生的电子加热回到等离子体界面。电磁波在频域中求解，并在时间域中求解等离子体。