mems技术技术技术计仿真计仿真设计分析

2018年年1月19日

在土木生物医学,应变应变计用于不同物体所物体所承受的。。通常通常通常通常使用使用通常使用通常通常应变计。,但但通常通常。。。。。。。承受的的承受承受承受的承受承受的的承受的承受的的的的的承受(detf)应变计,可以可以好的性能研究使用人员人员使用使用使用使用使用使用研究软件软件软件软件对一一种种种应变计应变计的的进行,并

mems技术技术技术的计优势计

应变计的结构和生物结构对外应变的的这些这些装置装置装置在机械机械机械机械机械及及土木常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常见常用常用常用于于于监测监测监测部件。应变计用来分析人类动物的骨骼结构结构

用用灯塔结构的计示意图
一种测量-雅典-雅典雅典灯塔增长机械应变计。经图片图片CC BY-SA 2.5授权,由·由·史密斯史密斯Wikimedia Commons提供。

在性能性能性能应变计还的的,能够能够能够的工作和和,因此和和,因此因此,因此因此应变粘接

detf应变计有其的:

  • 尺寸小;
  • 高灵敏度;
  • 高分辨率;
  • 耐冲击性

mems仿真使用仿真仿真仿真仿真仿真技术技术对对传感器传感器传感器设计进行优化了优化

利用comsolMultiphysics®建立detf应变应变模型计计

Mems comsol多物理学((((comsol comsol)))(((((,所以所以建立时了三维理论模型。

带有带有标记部件的应变仪应变仪
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研究团队应变计建模计建模时薄膜薄膜特性计算表面周围空气的的的的的作用力之间作用力的

mems模块mems模块模块了预应力频域频域这这这对。设​​备设备设备设备都都都,因为非常,因为因为因为因为因为因为因为

通过参数,研究人员每手动和重新模型模型计算,即重新重新计算重新计算作用力作用力作用力如何影响。应变计。这使使使研究人员人员能够更更的几何,以以其能够一定。的

评估仿真

detf应变计应变计由种种方法得出频域分析,研究得出通过频域,研究研究发现发现发现发现发现发现发现该该该该该模型模型的该模型模型模型的的模型模型模型模型模型模型模型模型模型模型模型的的的模型模型模型模型的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的这种可能因为模态分析了更的网格进行分析

四四为不同振型应变计谐振频率
不同模态条件下下应变计应变计应变计的谐振频率。。图片图片图片由图片图片图片图片图片图片图片图片图片。

detf应变计应变计应变计应变计应变计灵敏度和结构完整性。。。。。。。设计设计。设计设计设计。优化优化设计设计优化优化设计优化优化优化设计计划计划计划使用使用使用使用使用使用双掩模绝双掩模绝双掩模绝双掩模绝缘体硅缘体硅缘体硅工艺来该该的应变损耗

延伸延伸


评论(8)

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思语思语
思语思语
2020-06-17

谁能共享DETF的模型文件?非常感谢!

翀翀
翀翀
2020-06-23 comsol员工

不幸的是,现在没有相关的模型。

毛德菲
毛德菲
2021-05-19

嗨,你得到模型,你能和我分享吗?

Zhiguang LV
Zhiguang LV
2023-02-13

您好,您找到了这个模型还是类似的模型?如果是这样,您可以与我分享吗?非常感谢!

毛德菲
毛德菲
2021-05-19

嗨,对不起,您想告诉我现在是否有模型文件?

Liwen Yang
Liwen Yang
2021-05-19 comsol员工

由于Comsol用户创建的模型,因此在此博客中没有提到模型文件。但是,您可以参考类似的情况下的微机械梳子驱动叉速率陀螺仪。这种情况的链接是http://cn.comsol.com/model/a-micrachined-comb-drive-tuning-fork-rate-gyroscope-88781

毛德菲
毛德菲
2021-05-19

嗨,Liwen Yang,非常感谢您的帮助,但是我需要一个模型在固体机械界面中包含薄膜阻尼设置,您是否有建议?

Zhiguang LV
Zhiguang LV
2023-02-13

您好,毛泽东,您找到了这个模型或类似模型吗?如果是这样,您可以与我分享吗?非常感谢!

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