rf mems开关的吸合
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rf mems开关的的的介电层在在在在上方开关开关开关开关开关在在开关开关上上上施加施加施加大于大于大于吸合吸合电压的的的直流直流电压电压时时时时。模型了罚函数方法模拟模拟接触力，以以接触力机械桥与与电介质接触
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