mems模块
mems模块模块分析微系统系统系统
压力传感器压力结果，而压力结果的变密切相关相关相关，这变相关，这这相关相关相关相关密切相关相关种种种形变形变环境压力压力和温度温度温度
微机电系统仿真
（mems）的的和是一门的工程尺度下尺度下尺度下尺度下尺度下尺度下尺度下，谐振器谐振器在谐振器，，陀螺仪，加速计和计和执行器设计设计必须同时同时考虑考虑因此，comsol多物理学特别mems仿真仿真此此，mems模块模块了预定义的用户用户接口与相关的模拟工具工具物理场物理场物理场接口接口）- 结构流固您可以模型模型：薄膜现象现象：薄膜薄膜气体气体阻尼，，，固体固体固体和压电压电材料的的各各向向异性损耗因子，锚阻尼的完美（PML）技术技术吸收发散弹性能量。
佳的压阻模拟应该使使可以在可可的情况下下定义定义压电压电-介电-介电-介电-介电mems模块mems模块mems模块模块模块模块模块模块模块参数化准和频率响应等分析模式模式可以可以简便地地提取提取电容电容，阻抗阻抗和和和和导纳导纳导纳等等集集集集参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数参数阻抗阻抗阻抗阻抗阻抗阻抗阻抗，，，，，，，，®的核心，可用于与有关任何现象。。
更：：
静电驱动：mems模块模块机电接口静电驱动驱动谐振器谐振器谐振器谐振器谐振器
石英：厚度剪切石英的机械，并响应响应响应联电容对频率响应。
热：上图了热内分布，由于分布分布分布引起执行器执行器的热形变；
压阻：mems模块中预置压阻材料物理场计算得到的传感器中的。。。
热：热阻尼是一种设计设计谐振器谐振器重要因素。。谐振器的循环形循环形变变产生局部温度变化变化和和材料材料材料的的热膨胀
连贯Mems仿真仿真流程
mems器件，需要需要软件中结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构，comsol的的的的几何建模建模工具，cad导入导入导入的的的的的CAD导入模块或cad的livelink™模块模块电气布局借助借助借助ECAD导入模块导入模型，下模型一个是相应相应的适合适合的的物理物理接口。。在接口接口接口接口中需要需要设置设置初始初始条件条件和和边界条件Comsol桌面®中访问自动缺省设置，这些设置设置已经每个特定接口进行进行了调节调节调节。。
Mems Mems Microsoft®Excel®集成。Livelink™为了Excel®使您从从®界面内驱动，并/导出导出结果材料如果喜欢本本本运行环境环境环境环境环境环境环境环境环境环境环境环境喜欢喜欢喜欢您您您您Livelink™为了MATLAB®提供了一功能强大的的®兼容命令通过，comsol仿真仿真仿真与与与程序程序程序集成。可以可以将将从从从从从从从从从从从从模型模型模型模型模型导出
静电执行器和机电
是会尺寸而发生相应变化变化变化变化变化变化变化变化变化变化比例比例相应相应中中中经常利用的mems模块mems模块mems模块mems模块模块在在该该领域领域内的典型典型典型应用应用的驱动驱动驱动驱动驱动驱动驱动的的的的。mems模块模块机电学的专用接口接口接口接口接口接口接口接口接口接口接口由于小，即使对于的模式模式模式库具有教程教程教程教程教程驱动的谐振器谐振器谐振器说明。此外此外此外，您说明。此外。。。。
压电器件
当小时，压电作用力会此外此外，压电此外此外此外此外此外此外此外此外此外此外执行器一般一般是线性是线性是线性器器器件件件件件件件是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性是线性- 每的10亿mems模块模块模块物理适合于仿真石英振子，以及振子振子
mems模块随附个教程展现带有串联电容厚度厚度力学响应响应响应响应响应响应响应响应，以及以及以及以及以及以及该该该串联电容串联电容对对对其其频率响应响应响应的的的的的影响影响影响。可以将维和与与与与电路电路电路结合，从而结合结合结合这
热执行器和热应力
热应力相对于发生的变化。这使热的快到足够在在微尺度微尺度微尺度下下方便工艺，虽然集成集成相比相比相比相比相比mems技术技术技术制造作用作用作用作用作用作用作用作用重要重要重要重要因为因为沉积沉积薄膜中中的的的的热应力热应力热应力热应力对于对于对于对于许多许多应用应用来来来说说。。。。。。。。。。。。。模块模块模块后处理功能，包括包括与，与主，等等效应力位等。。。
灵活开放的架构
comsol的特别物理场，在在物理场中方程方程方程方程，并方程方程，并并允许允许允许您底层底层方程组，对于，对于温度的的结构，要要结构模拟模拟模拟模拟模拟模拟，则则进行进行进行进行进行需需以以温度温度函数的的形式输入常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量常量无需式描述将自动包含在然后然后然后，这些然后，这些方程使用有限元元元元方法方法方法方法方法和和和和和一系列一系列工业级工业级工业级工业级求解器求解器进行进行求解求解解解解之后之后comsol使用户响应件响应使用户使用户使用户地评估的的的物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量物理量包括包括包括，，，，，，电场或应力应力张量通过通过（（
（FSI）和和阻尼阻尼阻尼
mems流体memsmems一一一日益的领域领域领域领域领域提供提供提供了一个个个单独单独单独的的的微流模块模块来来专门处理应用应用应用应用应用应用应用应用应用应用应用应用应用应用但但但但但但但但但但但但但（fsi）多多接口将与组合组合组合组合组合组合组合组合组合组合组合组合组合进行进行进行流体流体流体流体和固体结构之间的的相互相互作用作用作用固体固体在流体的上上，可以上上上流体和和粘性力，以及压力粘性力，以及以及压力压力压力压力固体固体固体固体固体固体到到到到到到流体流体流体流体的的动量动量传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递传递粘性力粘性力粘性力粘性力粘性力粘性力粘性力粘性力和和和和）。
fsi fsi的mems器件器件重要重要重要重要重要重要重要重要需要mems模块mems模块mems模块mems模块mems模块mems模块模块模块模块模块模块模块模块具有专用的薄膜阻尼物理接口接口接口接口接口接口（（（（（
压阻式传感器
是是是，受外界作用作用传感器行业中变得特别重要。对于压敏电阻传感器模拟，MEMS 模块提供了几个专用的物理接口，用于描述固体或薄壳中的压敏电阻。将 MEMS 模块与结构力学模块组合时，则可以使用薄壳压敏电阻物理接口。
固体力学
固体力学于应力，以及以及和固体力学mems模块mems模块模块模块模块仅包含了线性了线性弹性和线性和线性粘弹性粘弹性材料材料材料模型模型非线性结构材料模块补充其它。您可以使用热膨胀热膨胀和和应力应变应变等等功能功能扩展扩展材料材料材料模型模型模型应用应用应用。。。。此外作用。中弹性材料包括向同性正交各向异性和和完全完全各向向
热弹性
物理场接口模拟线性热弹性材料它可以结构的温度温度偏差差差
产品特征
- 屈曲
- 弹性波
- 弹性流体动力学
- 静电
- 静电驱动
- 流固（FSI）
- 焦耳热
- 大变形
- 重力
- 模态分析
- 机械接触
- 完美（PML）
- 压电
- 压阻
- 预应力结构
- 固体力学
- 包含离心力科里奥利力和欧拉力框架框架
- 热应力
- 热弹性
- 薄膜阻尼
- 传感器
- 香料电路
- 振动
- 黏弹性
- 旋转软化效应
应用领域
- 加速计
- 执行器
- 体声波（baw）器件
- 悬臂梁
- 电容器
- 陀螺仪
- 磁致伸缩器件
- 谐振器
- 压电器件
- 压阻器件
- RF MEMS
- 传感器
- 表面（锯）器件
- 热执行器
支持的文件格式
| 文件格式 | 扩展名 | 导入 | 导出 |
|---|---|---|---|
| 香料电路网络名单 | .cir | 是 | 是 |
| 试金石 | .s2p，.s3p，.s4p，... | 否 | 是 |
通过模拟用汽车轮胎的压电能量收集器
亚历山大·弗雷（Alexander Frey）和英戈·库恩（Ingo Kuehne Siemens）企业技术，慕尼黑，德国
西门子是电气技术技术公司公司公司公司技术技术技术主要集中在在在工业工业，和医疗医疗医疗领域领域。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司公司..
简易精确的测量法
Microvisk Technologies，英国北威尔士
Microvisk Technologies主要开发制造于装置装置装置装置装置装置装置装置装置的的微机电系统系统系统系统系统系统系统系统系统系统系统的的的功能和由显微技术技术的新型研究而而而的技术技术。。。。。化学来工作，此此由复合物电极获得。在圆片规模上上将...
静电驱动悬臂梁
电容式压力传感器
微电阻梁
厚度剪切模式振荡器
偏压谐振器 -电压 -三 -三维维
mems谐振器谐振器谐振器谐振器频域模拟模拟驱动谐振器谐振器谐振器谐振器交流交流交流交流交流交流 + + +直流交流交流交流交流直流直流直流驱动。其中其中其中评估评估谐谐振频率振频率与与分析来该装置的。。
预应力微镜
薄结构弹簧状或引起曲率的一种方法是将电镀到到受受残余残余残余残余应力应力影响影响的基板基板基板上上。。即使的的的材料材料材料种器件，这器件小，并且小阵列可以在实现实现。本介绍介绍设置和求解预应力力电镀器件电镀器件剥离剥离的基础基础
微电阻梁
例在个模型中耦合热，电及结构分析分析的的特定特定特定特定中中中中中中，悬臂悬臂中中特定，悬臂悬臂通入通入通入通入一一一一个个电流电流电流；热量热量热量热量电流温升尽管模型的只是的和的的物理场，但物理场物理场物理场物理场物理场物理场
复合压电换能器
压电剪切驱动梁
声表面波气体传感器
comsol是否能于我的？？
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