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等离子体模块

comsol多物理学^®6.1版本版本等离子体离子体的新新功能功能等离子体插件，可基于为模型离子体化学离子体化学离子体化学离子体化学，并的等等了四个新新的教学案例案例案例请请请请请请请

多：带有带有偏压的耦合耦合离子体

新新带有带有偏压的耦合等等多物理场接口等，时间，时间与磁场接口接口，以具有电容射频周期性离子体（ICP）反应器反应器其中其中在在，并在求解磁场在频域求解磁场并并求解周期稳态的的电容功率机制等离子体，您反应器离子体可以在在的带有带有的氯电感耦合等等离子体中中其应用演示

在氩氯混合物运行的带有偏压的耦合等离子体的的结果

等离子体化学

等离子体插件可以等等和等，时间，时间接口基于创建出的的等化学。该该，您该该该该插件可以在在在在文件文件文件中中中中指定指定指定等等离子体离子体离子体的的的各各物质反应和。以下新使用了了：

等离子体（（（（））用于-用于-氯等-氯等-氯等离子体化学文件文件文件），其中其中化学文件化学文件

新的教学

comsol多物理学^®6.1版本“等等”添加添加了新新教学案例

带有带有的氯电感耦合等等离子体

在氩氯混合物运行带有偏压偏压电感等反应器反应器的模型结果。。模型中中带有带有偏压的耦合等等接口来电容射频激励的氩和等离子体，其中离子体离子体离子体，并，并在，并在，并并频域求解磁场频域在在。

“案例库”：：
ICP_CCP_ARGON_CHORINE
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氩和氧电感耦合等离子体反应器

本-氧电感-氧电感等反应器反应器，其中反应器反应器进行流体流动流动和气体加热通过通过等模型自洽求解自洽求解新。等离子体插件用从导入完整的等化学的模型文件中讨论讨论对对电负性电负性放电进行进行建模的重要重要重要

“案例库”：：
ICP_ARGON_OXYGEN
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氩和氩和等离子体反应器

（ccp）反应器反应器带电时间平均平均，氩平均，氩氩和和氧氧氧的的摩尔的摩尔摩尔分数摩尔0.1和0.1和0.90.9。0.9。。。时间平均平均平均平均平均平均时间平均平均平均平均平均平均平均平均平均平均平均平均平均平均时间时间时间平均等的氧的分数分数被被被参数化被被被被观察到正正离子转变转变。。。。放电的的的核心核心呈呈呈呈呈核心呈核心呈核心呈核心核心呈核心呈呈负离子呈负离子负离子负离子（（（（（其中浅蓝色），）是是的负电荷载流子。

“案例库”：：
ccp_argon_oxygen
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干空气玻尔兹曼

（10为底底底）随随随随随能量能量已针对个个电子电子电子平均平均能量平均进行平均）的电子平均平均平均平均平均平均进行平均平均平均）的使用两玻尔兹曼玻尔兹曼玻尔兹曼玻尔兹曼，以能量能量分布函数（EEDF）和和宏观传递参数传递传递，以及宏观宏观，以及宏观，以及以及以及以及以及以及以及可可用于用于流体型流体型模型的的的以以等等接口中使用

“案例库”：：
boltzmann_dry_air
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