随着（mems）制造制造的，mems正正复杂。因此因此观看本，学习comsol多物理学®mems模块mems器件mems器件mems模块mems模块模块模块于物理物理场耦合效应效应固耦合等能其模拟。设计很就创建如如执行器，，传感器传感器，，谐振器，滤波器，，超声超声换能器，，试用：参加参加的的作坊，得到得到周试用。
