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MEMS辅助压力传感器

发表于2009年10月6日，上午4:33 PDT0答复

Amir Tabatabaei

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你好
我想知道为什么能够压力传感器结构是这样的？
我的意思是，为什么介电孔有一个孔，尽管如果我们使用电容器的简单结构，则结果将变得更好，并且能力范围变得更宽。

第二个问题是，固定电极上的薄层如何通过压力变化来置换？

0答复上次发布2009年10月6日，上午4:33 PDT

comsol主持人

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