离子能分布函数
应用ID：11400
离子能量分布函数（IEDF）是解决自一致的等离子体模型后最有用的量化量子之一。IEDF的大小和形状取决于许多放电参数。压力，等离子体电势，鞘宽等。在非常低的压力下，血浆鞘据说是无碰撞的，这意味着与背景气体碰撞不会阻碍离子能。在较高的压力下，离子与鞘中的背景气体分子碰撞，在撞击时与表面撞击时的能量减少。该模型需要粒子跟踪模块。
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