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MEMS模块X
流体结构相互作用

流体结构相互作用

该模型演示了如何在COMSOL多物理学中设置流体结构相互作用问题。它说明了流体流如何变形固体结构以及如何在连续变形的几何形状中求解流动。流体结构相互作用(FSI)多物理接口...阅读更多

微杆梁

微杆梁

此示例说明了一个模型中对热,电气和结构分析进行逐渐发展的能力。该特定应用通过将电流通过它来移动光束;电流会产生热量,温度升高导致通过热膨胀导致位移。...阅读更多

压电能量收割机

压电能量收割机

该模型显示了如何分析简单的基于悬臂的压电能量收割机。正弦加速度应用于能量收割机,并根据频率,负载阻抗和加速度幅度评估输出功率。阅读更多

电容压力传感器

电容压力传感器

模拟电容压力传感器。该模型显示了如何模拟压力传感器对施加压力的响应,以及如何分析填料诱导应力对传感器性能的影响。阅读更多

表面微机械加速度计

表面微机械加速度计

该模型显示了如何使用机电界面模拟电容性驱动的表面微机械加速度计。它基于Stephen D. Senturia的《 Microsystem Design》的案例研究(Kluwer Academic Publishers,第5版,2003年,第513-525页)。阅读更多

分层板中的热应力

分层板中的热应力

在此示例中研究了分层板中的热应力。由两个层组成的板,一个涂层和底物层,是在800度处应力和无应变的板。板的温度降低至150摄氏度,并且由于差异而诱导热应力...阅读更多

表面声波气体传感器

表面声波气体传感器

表面声波(SAW)是沿着固体材料表面传播的声波。它的振幅通过材料的深度迅速衰减,通常是指数级的。锯用于多种电子组件,包括过滤器,振荡器和...阅读更多

压电压力传感器,外壳

压电压力传感器,外壳

压电压力传感器是要商业化的最早的MEMS设备。与电容性压力传感器相比,它们更简单地与电子设备集成,它们的响应更加线性,并且固有地避免了RF噪声。但是,他们通常会...阅读更多

微泵机制

微泵机制

微型聚会是微流体系统的关键组成部分,其应用从生物流体处理到微电冷却。该模型模拟了Valveless微量的机制,该机制旨在在低雷诺数下有效,克服流体动力...阅读更多

3D偏置的谐振器:固定,特征频率,频域和...

3D偏置谐振器:固定,特征频率,频域和引进分析

在时间和频域中模拟了静电驱动的MEMS谐振器。该设备由在平行板电容器上施加的AC + DC偏置电压驱动。评估谐振频率对DC偏置的依赖性,并进行频域和瞬态...阅读更多

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