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表面声波气体传感器使用化学敏感的电阻层检测气体浓度。感应材料的电阻率，感应层厚度和间隔层的厚度都会影响表面波传播速度。现有的分析理论将速度的变化与各种参数联系起来。但是，该理论中的某些变量并未明确定义。准确的模拟需要在感应层和间隔层中包含静电效应和声波传播。在本文中，我们使用多物理有限元包comsol 3.4a和3.5，2d piquzo平面应变模式模拟了分层结构中的表面声波传播。分析了厚度和隔离层的材料的效果，以优化SAW气体传感器设计。