技术论文和演示文稿

电源通常用于许多电气设备。为了提供统一的功率，无论时间变化如何，大多数等离子设备也使用电源。因此，血浆模拟中的功率条件至关重要。在使用ComsolMultiphysics®中的当前源的时间依赖模型中，需要随时间调整应用电流的值以固定功率，并通过在本研究中使用状态变量功能来实现这种逻辑。

基于GEC CCP反应器，氩化学教程模型是一种使用固定功率条件的时间依赖性电容耦合等离子体（CCP）研究，并将结果与​​时间周期模型的结果进行了比较[1]。在这项研究中，考虑了20,000个RF循环的周期稳态。大多数结果，例如电子密度，电子温度，电势等，与时间周期模型的结果一致。这项研究表明，在时间依赖性模型中应用功率条件的可能性，预计逻辑也将在AC/DC模块中采用。