优化削减了基于硅的MEMS CO2检测器中的能耗

Serge Gidon

CEA,Leti,Minatec,Grenoble,法国

CEA-Minatec是国际微观和纳米技术中心,由法国政府资助的技术研究组织CEA资助。他们目前的项目之一是开发基于硅的MEMS CO2传感器,这些传感器采用光学检测来监视足够的建筑通风。

对于传感器的功能,将细丝加热到特定的温度,以使其在特定波长附近排放大多数红外辐射。环境二氧化碳吸收了大部分能量,同时检测到剩余的红外辐射以计算CO2。这些传感器以非常低的电流运行,因此它们将持续很长时间,同时成本要比传统的二氧化碳传感器少得多。

Comsol多物理学用于找到节能灯丝的最佳几何形状,该几何形状可以避免在自由度的微型热盘上进行热点,同时消耗更少的能量。与Comsol的Ale(任意Lagrangian-Eulerian)方法一起使用2D模型,以找到几何优化。

图像显示了整个传感器的温度分布;用等音表面(右配色键)可视化导电轨道中的温度,使用丝图(左下配色杆)使用s片中的丝中的温度可视化。

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