LAM关于晶圆制造和摩尔定律的模拟研究

2013年8月5日

我们已经将计算能力中不断增长的绩效提升视为理所当然。通过半导体处理技术的进步,我们从智能手机到工作站的所有事物中获得了令人兴奋的新功能的好处。对我们所有人来说,好消息是,半导体行业正在前进,无情地推动了晶圆制造的极限。每年,都会开发新一代的复杂制造设备。现在在硅上蚀刻的特征处于原子量表。为了寻求硅的小型电路功能,LAM Research Corporation是晶圆制造设备和服务的领先提供商,是利用多物理模拟的。实际上,制造设备开发以增加集成电路晶体管密度和计算机建模之间存在有趣的关系。

半导体制造和计算机建模,共生关系

Peter Woytowitz博士,计算建模和可靠性高级经理林研究,将于10月9日至11日在2013年波士顿Comsol会议上举行主题乐动滚球app下载演讲。在那里,他将分享他对之间的共生关系的看法摩尔定律,它陈述了一次集成电路上的晶体管数量每18个月加倍,并进行计算建模。计算建模有助于我们更好地理解和优化半导体制造过程阶段,例如蚀刻,沉积和清洁。半导体制造过程技术的结果进步有助于启用摩尔定律,从而促进计算能力。

晶圆制造过程的多物理学建模

LAM研究是Comsol多物理学的早期采用者之一。他们开始对电磁场模拟进行建模,然后分支到其他应用程序。会议上要展示的仿真工作具有真正的多物理性质,包括机械,流体和电效应。此外,皮特将简要讨论他的未来工作,其中包括分子动力学和量子化学建模。他关于摩尔定律与计算建模之间的共生关系”将于10月10日在大宴会厅举行。

关于主题演讲者

Pete Woytowitz博士是LAM Research Corporation(CA)的计算建模与可靠性高级经理。他专注于在功能量表级别上对复杂系统的建模和优化。这些系统的模拟包括压力,热,动力学和可靠性研究。Pete在LAM工作之前是工程学技术的主要工程师,并在失败分析协会,Loral太空系统和波音商业飞机公司担任职位。皮特(Pete)获得了机械工程学博士学位,是圣克拉拉大学(Santa Clara University)的兼职教授,也是加利福尼亚州注册的专业工程师。他拥有马里兰大学和斯坦福大学的学位。Pete已授予了三项美国专利,他发表了三十篇论文。

Pete Woytowitz Lam Research Corporation博士
Pete Woytowitz博士,
高级计算经理
建模和可靠性,
林研究公司。

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