应用交换

微波血浆化学蒸气沉积反应器中的氢等离子体建模

Gayathri Shivkumar，Siva Sashank Tholeti，Maje Alrefae，Aravind Shaj，Timothy S Fisher和Alexeenko，Alexeenko，
普渡大学，美国西部拉斐特，美国
电子邮件：

使用高频麦克斯韦求解器和传热求解器，在COMSOL多物理学中实现了微波等离子体化学蒸气沉积（MPCVD）系统中氢等离子体的2D轴对称模型。Funer的模型是根据实验观测来校准的。使用Bolsig+（在给定的局部电场下，弱离子化气体中的电子中的玻尔兹曼方程求解器）确定分数电子能量损耗。

请参考以下论文引用这项工作：
G. Shivkumar，S。S。Tholeti，M。A。Alrefae，T。S。Fisher和A. A. Alexeenko，“微波等离子体化学蒸气沉积反应器中的氢血浆分析”，《应用物理学杂志》 119，113301（2016）。

用户评论

登录评论此条目。