文件名 | 尺寸 |
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app_tutorial.pdf | 301 kb |
mpcvd_app.mph | 19.6 MB |
下载所有文件(zip-Archive) | 〜15.9 MB |
微波血浆化学蒸气沉积反应器中的氢等离子体建模
Gayathri Shivkumar,Siva Sashank Tholeti,Maje Alrefae,Aravind Shaj,Timothy S Fisher和Alexeenko,Alexeenko,
普渡大学,美国西部拉斐特,美国
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使用高频麦克斯韦求解器和传热求解器,在COMSOL多物理学中实现了微波等离子体化学蒸气沉积(MPCVD)系统中氢等离子体的2D轴对称模型。Funer的模型是根据实验观测来校准的。使用Bolsig+(在给定的局部电场下,弱离子化气体中的电子中的玻尔兹曼方程求解器)确定分数电子能量损耗。
请参考以下论文引用这项工作:
G. Shivkumar,S。S。Tholeti,M。A。Alrefae,T。S。Fisher和A. A. Alexeenko,“微波等离子体化学蒸气沉积反应器中的氢血浆分析”,《应用物理学杂志》 119,113301(2016)。
用户评论
2022年6月13日,上午11:52 UTC |
感谢您的精美工作。 |
2022年6月27日,上午8:10 UTC |
感谢您的工作。我已经下载了文件并阅读了参考文件。但是,我不理解零件 - 名为'mpcvd_app.mph'的文件中的“系数form pde”。我对它的身体含义及其功能感到好奇。如果有人能回答我的困惑,我会非常感激。 |
2022年9月23日,上午11:06 UTC |
感谢您分享文件。这对Comsol的年轻科学家或新用户意义重大。 |
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