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在薄结构中产生类似弹簧的结构或诱导曲率的一种方法是将它们贴在残留应力影响下的底物上。

即使对于类似材料，电镀过程也可以控制这种压力。这样的设备是静电控制的微龙。它通常很小，并且可以在投影仪中实现此类设备的数组。

本节介绍了如何设置和解决预应力镀板设备的升降机的基本原理。该模型显示了MEMS模块中大变形和初始应力特征的使用。