MEMS仿真和使用Comsol Multiphysics软件进行建模

随着MEMS制造技术的成熟，微机电系统（MEMS）变得越来越复杂。因此，专门为MEMS模拟和建模设计的软件从未如此重要。

观看此视频，以了解MEMS模块对COMSOL多物理学如何提供工具，从而使MEMS设备的模拟变得容易。MEMS模块是为了模拟多个相互作用的物理效果，即使是最复杂的MEMS设备，也可以实现高保真度建模。可以用软件对物理学，压电性，压电性，热结构和流体结构相互作用等物理学进行建模。设计工程师可以轻松地创建常见设备的模型，例如执行器，传感器，振荡器，过滤器，超声传感器，生物元素等。

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