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热：小，大，大
- 流过执行器的
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与加热电路，变形是执行器的的，因为因为效应效应可以使它们发挥
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可以使用进行热控制的微卫星微卫星。来自来自来自来自来自来自来自CC BY-SA 4.0许可许可Wikimedia Commons共享
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热执行器通常其他执行器复杂复杂。必须考虑其来创建来创建，因为创建创建，因为因为来来，因为因为温度创建来来来来来来来来创建创建创建温度温度温度可以分析执行器设计，供实际。，我们，我们以使用使用comsol多物理学®软件创建热微为例来：该该模型模型模型还需要需要mems模块或结构力学（（（）
使用comsol®软件软件热微执行器中的
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三三热微执行器的几何何
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由于多晶硅，由于其易于电子元件，因此电子元件元件元件于热。在在在现实现实现实现实现实世界现实现实世界世界世界在，当当世界，当当当电流流某某某种种并并使使，为简单见，（（此单向（单向）。恒定。。。。。要将其其转换为为为，则为双向电导率随温度的材料材料可
仿真结果
静态静态，我们可以基于中中上升来热膨胀导致的的的执行器位，（（）（（（（（））（（（））来来（设计来最低最低两臂微执行器进行。
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后续后续
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该示例有种不同的的，详见：：
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- 微执行器的
- 仅模拟加热
- 不需要需要附加
- 微执行器微执行器 - 分布式参数参数参数
- 与上述相同，但但还了如何上上执行集群
- 需要浮动网络
- 微热微热
- 通过通过“方程”中中编辑，而而是是多多物理场耦合
- 不需要需要附加
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