comsol多物理学^®6.1释放亮点

等离子体模块更新

对于等离子体模块的用户，comsol多物理学^®版本6.1提供了与周期性RF偏置耦合等离子反应器的能力，这是一种新的血浆化学从文本文件和四个新的教程模型中创建完整的等离子体化学的加载项。在下面了解有关这些更新的更多信息。

电感耦合等离子体与RF偏置多物理接口

新的电感耦合等离子体与RF偏置多物理接口夫妻等离子体，时间周期性和磁场与电容性射频周期性激发模拟电感耦合等离子体（ICP）反应器的接口。磁场在频域中求解，并为周期性稳态求解等离子体传输方程。该界面专用于具有电感和电容幂耦合机制的等离子反应器的建模，可以在新的氩和氯与RF偏置的电感耦合等离子体反应器的模型模型。

血浆化学加载项

这血浆化学加载项会自动从文本文件中为模型创建完整的等离子化学反应等离子体和等离子体，时间周期性接口。使用加载项，您可以指定文件中等离子体化学的方面，例如热力学参数，电子影响横截面和速率常数，重种类反应和表面反应的物种特性。以下新模型使用此功能：

• 氩和氯与RF偏置的电感耦合等离子体反应器的模型
• 氩气和氧的电感耦合等离子体反应器的模型
• 氩气和氧气电容耦合等离子体反应器的模型

新教程模型

comsol多物理学^®6.1版将四个新的教程模型带入等离子体模块。