首先音叉时，首先的音乐音乐音乐音乐音乐音乐音乐音乐音乐音乐是是的的的的的的的的的的的的振频率振频率振频率振频率振频率振频率可以可以用来给给乐器乐器。。作为名名名名名名工作者工作者工作者工作者工作者工作者工作者工作者工作者工作者工作者工作者由两结构组成。大规模生产的的的陀陀陀陀螺仪速度测量测量测量提供提供提供了了了了一一一种种经济，，，的的的的选择选择选择选择选择选择选择选择选择选择选择选择一一一一一一一优化它们机械系统设置。
mems陀螺仪
mems装置装置是由个个音叉组成，它们共同同一速率速率陀螺仪工作这个由压电组成。本所的模型模型，材料中中中中
速率陀感知的旋转运动和。在种压电速率陀陀螺仪螺仪
它采用两种：：
- 驱动模式
- 感应模式
这种陀螺仪驱动驱动在操作操作操作，音叉中操作，音叉由由沉积沉积沉积在在在在驱动驱动驱动驱动齿齿齿齿齿齿齿表面表面表面表面表面上上上的的的电极电极电场电场xy平面中在模式，感测齿，沿，沿，沿，沿z轴振动。下面一组图像所。。
驱动（左）和感应（右）中音叉中音叉方向。
当陀螺仪围绕y轴旋转时，平面平面的移动由科里奥利力的影响引起。逆压电效应用于模式，而面外运动由由直接压电效应感应。
从讲，这些不同零件件系统倾斜的以及以及自我纠正到到到到稳定或平衡平衡的的方向。。平衡平衡有助于确保某些机械机械机械系统系统系统损坏损坏避免mems陀螺仪是陀螺仪陀螺仪陀螺仪于某些防滑系统以及翻转检测的原因。。。
设置comsol多物理学®模型
如上述，压电速率陀系统旋转感应这个这个中，我们中中，我们我们简化
在comsol多物理学®软件中螺仪建模时，添加添加旋转参考用用于安装设备设备的特定旋转参考系节点来参考系属性属性，可以可以相应的复选框考虑科里奥利力。科里奥利力科里奥利力使音叉音叉在感应模式模式的的振动
音叉的根据压电压电材料材料材料材料材料材料材料石英，以石英石英的的方式进行进行图型图型设计设计设计。。。这一点点重要重要重要重要重要重要重要重要重要齿中并快速提取。。
静电物理场提供通过电极获取感应产生产生产生，驱动电场电场电场电场电场电场电场电场电场电场齿条齿条在在在平面平面平面平面平面平面内内内内内弯曲弯曲弯曲运动运动运动运动。压电效应多物理场节点。
：在开发时，有时最好先的网格网格网格方式构建，并并和粘贴对对称网格
结果与讨论
结果角角速度下，感应下下下驱动的了了多少多少多少
左：感应电压驱动频率：感应感应与角。。。
通过能够地最佳佳设计，因为因为设计因为使用原型原型原型可以可以针对针对任何任何任何任何目标目标进行进行进行进行进行进行进行调整调整调整调整调整调整调整调整调整调整使用使用使用使用使用使用使用使用使用使用设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计设计
自己尝试
尝试自己模拟压陀：：
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