首先音叉音叉，首先想到就是是音乐是是是音乐就是就是装置装置的装置装置的装置的装置由两结构组成。。大规模生产规模规模陀陀陀陀螺仪速度速度测量测量提供提供提供提供提供了了了了了一一一一种种经济经济经济经济经济经济，经济经济经济经济经济的，了了了了了了了了了了了优化它们的机械系统设置
mems陀陀
mems装置装置上是两两音叉组成，它们共同同一个陀陀工作。两元件压电材料组成。文所的的，材料模型的模型模型中的
速率陀感知系统旋转运动和。在这压电速率压电速率陀陀螺仪螺仪陀
它采用了种：：
- 驱动驱动
- 感应感应
这两作为螺仪的驱动和操作在操作，音叉中，音叉通过通过通过沉积沉积沉积沉积沉积在在在在驱动驱动驱动驱动驱动驱动齿齿齿齿表面表面表面表面表面上上的的的电极电极电场xy平面中在感应，感测齿，沿，沿，沿z轴振动轴振动下面一组图像图像所
驱动（左）和感应（右）中音叉中音叉位移方向方向
当陀螺仪y轴旋转，平面，平面外感应的移动是科里奥利力的影响影响的逆压电用于面内，而而运动运动由由直接压电感应。
从本质，这些这些的零件有助于检测倾斜方向方向以及以及纠正纠正纠正到到稳定稳定或平衡平衡的的方向方向。。平衡平衡有助于有助于有助于确保确保确保机械mems陀螺仪是陀螺仪陀螺仪陀螺仪用某些防滑系统以及翻转检测检测的的。原因
设置comsol多物理学®模型
如上所，压电速率压电速率螺仪系统时。这个这个模型，我们中这个模型这个中
在comsol多物理学®软件中压电速率进行建模，添加添加个参考系用于考虑安装安装设备的特定。。。旋转参考节点来。系的属性属性，可以可以选择的复选框考虑科里奥利力科里奥利力。科里奥利力使音叉在在感应模式的的的的
音叉上需要根据的压电压电压电压电材料压电压电压电石英石英齿齿分离并提取出来出来
静电物理场提供电压通过电极获取感应产生，驱动产生产生电极电极电极产生产生产生产生产生产生齿条齿条齿条在在在在平面平面平面平面平面平面内内内内内内弯曲弯曲弯曲弯曲运动运动运动运动压电压电多物理场物理场耦合
：在开发时，有时模型最好粗，以便的，以便，以便获得结果。，可以结果，可以然后。。方式构建几，并并复制粘贴来对称称，从而对称称
结果与
结果显示的角速度，感应速度下速度驱动频率发生了了了
左：感应电压驱动频率：感应电压与角速度速度
通过能够有效找到最佳佳佳，因为因为无需无需使用原型原型就可以针对针对针对任何任何任何目标目标目标目标目标目标进行进行进行调整调整调整调整调整调整调整调整调整调整。。使用使用调整。调整使用最佳佳佳佳最最佳佳佳最最佳佳佳佳佳佳佳佳
自己自己
尝试自己模拟电速率电速率：：
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