5.1发布亮点

固体力学与稀物质传递或多孔介质稀物质传递这两之一耦合时时，新创建了称为称为称为浸润膨胀的多。它与材料模型的点点点浸润膨胀相同的有这个新增多物理场，您耦合耦合耦合，您稀物质传递或多孔介质稀物质传递接口中的浓度，并并浸润。。。。

mems压力压力传感器由于浸润引起的浓度和和。。

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薄膜流中个空化，可以空化特征带蚀刻孔的中的。。。

空化一气体池，后者气体池气体池后者正环境压力压力和相对于另另一侧侧的的环境环境环境压力压力压力的的的的差差。。。空化空化空化常数常称称为（（（Bao（M. Bao和H. Yang“ Mems中的挤压膜防潮”，传感器和执行器A：物理，第136卷，第1卷，第1、3-27页，2014年）。

用于穿孔导纳的模型的'空化空化设定窗口。。

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薄膜流的边界流边界条件了个，选择，选择边界的面外运动Gallis＆Torczynski模型（M. A. Gallis和J. R. Torczynski，“改进的Microbeam运动气体阻尼的Reynolds -Equation模型”，Microectromechanical Systems杂志，第13卷，第13卷，第653-659-659页，2004年，2004年）。的压力这个模型可以很好地对应薄膜流区域区域周围周围周围空气的的的的的的的的的的的的的的的的的的和和和和和和和和和和和和和和和和和和和和和和

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新增的点矩阵计算（（（（（））可以可以可以方便显示点的张量压电设备接口使用，可以在和坐标系张量材料属性。因此因此，现在因此因此因此因此

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微泵重要重要，其元件元件元件其可以从生物到微电子微电子冷却。。这这这个个个教学模型模型仿真仿真了无阀微泵机理机理动力学微流体中无阀泵泵，因为因为泵可以最小化堵塞小化堵塞小化堵塞流固耦合接口来的流动，以及关联的。此外，使用，使用，使用全局常方程和微分方程方程接口来如何积分得到在泵循环中的总流量。

von mises应力和的流体流动流动应力应力显示了水平水平管道管道泵送到送到送到送到垂直垂直管道管道的的机理。。管道个个个倾斜皮瓣倾斜皮瓣倾斜皮瓣倾斜皮瓣倾斜皮瓣倾斜皮瓣下，当泵入时，皮瓣产生，导致称弯曲，导致从左侧管道比右侧。。。。流动流动流动流动

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在这案例中了一个音叉压电速率陀螺仪，其中螺仪螺仪螺仪螺仪压电设备（Coriolis）（Coriolis）力耦合驱动面内的的的力耦合力耦合力耦合力耦合的的力耦合力耦合面外面外的，产生模式模式模式模式模式模式模式模式模式模式模式模式本分散在频率空间。系统频率响应响应，以及响应响应响应响应

（（（一（））（两右右左（（），coriolis）力耦合。。。。。。。。

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这个模型显示了使用使用压电设备接口来个的悬臂式能量能量。其中一个个正弦加加，输出

输入力学，输出输出阻抗电功率电压函数。。

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压电阀广泛和，因为和实验室它具有响应和静音运行的优点优点优点。。其其其节能节能散出散出很很少少少的的的的的的

在这个中，一一通过的压电驱动。为了模拟这这压电设备接口与接触特征当阀驱动时，一一密封圈被压缩压缩，计算压缩压缩压缩

von Mises应用应用应用应用。

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这个模型显示如何使用固体力学计算一谐振器中的受限品质因子谐振器通过在在在基底上上上基于2007年comsol在格勒诺布尔召开召开年会用户（（（Steeneken“ MEMS共振器中的参数提取和支持损失”，Comsol用户会议2007，Grenoble）。

结构的移以颜色，清晰清晰。。。。

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