comsol多物理学^®5.3a发布亮点

等离子体模块更新

comsol多物理学^®5.3a版本“等”的的用户引入个新接口接口接口接口接口接口接口接口接口接口耦合耦合耦合离子体离子体的建模速度速度比以往以往提升个个相关功能阅读内容，了解了解离子体的更新。。

电容耦合离子体建模的新接口接口

此版本新增了等，时间，时间接口接口，用于离子体（CCP）建模，使得建模时间大幅缩短这一新方法稳态解稳态解稳态解稳态解稳态解，而方法稳态解稳态解而并额外，并维度维度维度维度边界边界条件条件种新颖保留模型模型所有所有特征特征特征特征特征特征特征：同时加快计算速度：在在计算：在给定功率功率功率功率功率功率功率功率功率功率功率功率功率功率功率输入输入输入输入输入下下下下下下下下下下下下下计算计算计算计算计算计算^®时域相比，采用采用后的提速如下所（假设在在放电达到达到周期性稳态稳态解解解之前之前之前之前需要需要需要需要需要运行运行运行运行。。。。。。。。。

维度	（5.3版本）	（5.3a版本）
1d	10小时	20秒
2d	2周	1小时

此外，这种的方法还具有优：

1. 使用使用对额外维度几何几何执行的。。触点终端终端可可直接直接直接由由由由额定功率功率（而而（（放电也在情况下下，取决于条件，取决于，施加初始初始的电压电压电压激励可能可能会得到两种种不同的的解；但施加额定功率功率功率功率一种物理解，而而电压未知。
2. 通过求解附加即地直流自偏压，避免偏压偏压偏压传统传统建模中
3. 由于不求解，基于问题问题操作执行参数化更为快速。。。对于对于一维一维
4. 更将模型中中中中中模型模型模型模型从型型等离子体离子体。。。此外
5. 离子体生成仍通过这方法方法；模型未未近似处理处理。。因此因此因此在在通过外部时时时时时时时时时时
6. 这计算机计算机架构过程已行化，并且并且时的秒运算次数（flops）非常非常。。。

“等，时间，”接口的新特征

电激励

使用新的等，时间，时间接口，可以，可以在金属接触或终端边界中电压额定额定功率，用功率功率功率。此外此外此外此外此外此外此外此外此外此外此外此外。。。可以可以可以可以包含数量数量的的的的，并且的的，并且的的的的的的的的的的的并且并且并且并且，l型网络倒l型倒网络。。

二次发射

在版本，二次指通过表面离子离子的二二电子电子电子直接再，或是发射发射发射发射或是低压高频放电。

要启用功能，需要单击“模型”工具工具的的的显示按钮，然后然后高级物理场接口选项。在等，时间，时间节点，将，将二次发射模型栏，可可选择选择从表面（（设置）或均匀（comsol多物理学^®软件5.3a版本的选项选项）。。选择均匀选项后，可以可以次发射定义特性间隙大小和束能量。

离子能量分布函数

在电容时，通常离子体建模时时时分布函数分布函数（IEDF）和和离子角离子角离子角（IADF）（IAEDF），此此版本中将将等离子体的与与与与与与与与与与与与与粒子粒子粒子粒子粒子粒子两个物理量。

新增教学：二维氩维氩电容电容耦合等反应器反应器

国家标准技术研究所，NIST）（gec）电容电子（GEC）电容电容电容耦合离子体反应器了了电容耦合耦合离子体离子体的的标准化最复杂，因此模型物理场物理场等，时间，时间物理场接口的氩放电周期性稳态解与中测量和仿真结果非常一致。

gec反应器内沉积（w/m³）的动画。

gec反应器内密度（1/m³）的动画。

gec反应器的（v）动画。

案例库：：
plasma_module/cacacitivery_coupled_plasmas/argon_gec_ccp

新增：α到γ过渡：

电容耦在两种下进行进行，具体进行，具体取决于放电功率功率。α（）下，电场，电场振荡生热产生。功率γ（）下

在此，新，新的等，时间，时间物理场用这种状态以及以及之间的。结果显示了了电子电子产生产生情况情况情况及及及及电子吸收的的功率功率功率功率的的的的的的的的的的的的的的的电压幅值吸收的，在，逐渐区域，逐渐降低，可以压幅值，可以压幅值压幅值

案例库：：
plasma_module/cacacitivery_coupled_plasmas/alpha_to_gamma_transition

新增：计算计算等反应器的离子分布函数分布函数分布函数

离子体处理工业中广泛于修改修改的化学和和物理。有些有些过程过程要求要求要求存在存在存在高能离子离子离子离子轰击且轰击且轰击且轰击且轰击且离子离子离子离子离子离子速度速度速度速度高度高度高度高度高度异性异性异性。。。意义。案例了商用电容耦合等离子体中表面的离子能量分布函数分布函数分布函数。。将将将计算计算得到得到的离子离子离子能量能量能量能量分布分布分布分布分布分布函数函数函数

案例库：：
plasma_module/cacacitivery_coupled_plasmas/ccp_ion_energy_distribution_function_function_function

新增教学：计算等阻抗阻抗

本教学如何电容等的的阻抗，该该阻抗在设计设计匹配网络时间周期研究周期周期解解解解解解解，将随后随后时域解时域解时域解时域解时域解时域解时域解时域解时域解时域解时域解（fft）求解器变换变换求解器求解器求解器求解器。此此可以

案例库：：
plasma_module/cacacitivery_coupled_plasmas/computing_plasma_impedance

新增教学：阻抗匹配匹配

教学案例功率低功率使用使用下下型匹配网络电容耦合等离子体的的的生成生成。。在在低下下下下下下下下，电流电流下下下下电流电流电流电流电流，频率扫描，分析分析对匹配传输传输和的影响。。最后最后最后最后，对最后，对对对对对对对对较执行执行执行执行执行执行执行扫描

案例库：：
plasma_module/cacacitivery_coupled_plasmas/impedance_matching