非麦克斯韦eedf等等简介简介

2017年7月5日

(EEDF)以及了解了解电子能量能量以及以及电子和等传递属性。。为了为了为了为了用玻尔兹曼玻尔兹曼这些这些这些这些量量量量量量量((()。。。。。。。。。。。。。。。。)是物种密度密度密度物种物种物种等等离子体离子体模型输出输出输出输出输出输出输出输出输出输出输出输出输出这这这这这这这这这是是一

EEDF和等建模

(((),但比如匹配实验结果结果结果结果结果结果)可以使用关系自动传递属性属性属性然而然而然而然而然而然而然而然而然而然而然而然而然而时时时时时时然而

为了获得更精确的曲线,(((((EEDF))玻尔兹曼,两,两近似接口。
氩气放电时,,druyvesteyn和和玻尔兹曼函数比较。。
5ev时时时典型放电情况下,麦克斯韦下下和和玻尔兹曼分布函数

我们遇到自相矛盾的的问题。要用玻尔兹曼玻尔兹曼计算计算计算计算计算计算计算计算计算计算计算计算计算我们我们我们我们我们必须必须知道知道电子电子电子电子密度密度密度。。。。但但但这这是是是等的的的结果结果

我们怎样摆脱种循环?种是使用过程过程。第一步是是猜测猜测平均平均电子电子密度玻尔兹曼,两,两近似EEDF。接下来。。。。。

手动逐步过程麻烦麻烦麻烦麻烦麻烦麻烦,“ app开发器”设计开发器设计设计设计一个自动自动执行过程过程过程过程过程过程过程过程

用应用程序模拟模拟非麦克斯韦

app,app,我们只对电子和氩原子的初始猜测猜测猜测猜测猜测猜测,可以可以可以可以可以调整外电压,,反应器反应器长度,气体气体温度和和其他其他值电路。接下来,我们选择我们想要想要的的类型(麦克斯韦,。。。)

当我们单击全部计算,app会会在计算等离子体离子体模型模型模型模型模型模型每每次计算计算的的离子体模型模型的的平均平均电子电子电子密度密度密度被被用作输入输入输入参数参数来前后次平均密度的偏差某用户的。。,我们或者或者或者或者或者仅计算玻尔兹曼按钮或仅计算等离子体按钮来求模型或等离子体。。

至于的,我们得到等密度密度密度,如和密度,以及离子密度,以及离子,以及以及密度,以及以及密度密度离子离子离子离子电子电子电子电子温度温度温度。还还看到了了了不同不同不同不同不同玻尔兹曼分析下的指定位置的选项,我们可以反应器几何结构中每个点的的

EEDF模型模型模型

EEDF模型模型模型模型对等离子体建模建模建模建模

  1. 等离子体模型
  2. 计算eedf的的

app中使用等模型是一个的维辉光维辉光,类似于,类似于案例下载中的。等离子体反应器接地接地接地接地接地接地接地接地极极右电极施加施加电压电压。。我们我们在在在在在在在在在在在在中中中此此电压的值(以及以及反应器长度
comsolMultiphysics®中等离子体模型树的。。。
等离子体接口的模型。

x使用简单的一一维维模型模型来维维,X轴不,X轴不代表空间空间空间空间坐标坐标坐标坐标坐标坐标坐标坐标坐标氩气玻尔兹曼分析教程。
“玻尔兹曼,两,”接口接口树屏幕。。
玻尔兹曼,两,两近似接口的模型树

需要的是,app使用使用反应器中的平均平均电子密度密度密度密度密度密度密度密度电子电子,eedf仅。,eedf仅取决于放电放电平均平均特性特性特性特性。实际上实际上实际上非常大,因此本中不计算。。

了解更使用使用comsolMultiphysics®进行进行离子体的信息信息信息


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