（EEDF）以及通常通常需要电子能量以及以及迁移率和扩散率等传递。。。为了为了用用用玻尔兹曼玻尔兹曼计算精确计算计算计算计算这些精确计算计算量方程（（（）。。。。。的。。。。。。。。。）是和物种和和物种和物种是等等离子体模型输出的的输出，这的的，这这的，这这这这这是一一一个矛盾自相矛盾的
EEDF和和离子体
（（（（），但比如为了为了匹配实验匹配）可以使用斯坦自动计算传递属性属性属性属性属性属性。属性属性属性属性属性属性。属性属性。。属性属性属性
为了为了获得更的，（（（（（EEDF））玻尔兹曼，两，两近似接口。
5ev时时时典型氩气放电，麦克斯韦放电情况情况德拉文斯坦玻尔兹曼玻尔兹曼分布比较的
然后我们了矛盾矛盾的问题。。要用用玻尔兹曼玻尔兹曼方程方程方程方程方程玻尔兹曼方程用用玻尔兹曼用用方程我们我们我们我们必须必须必须必须知道知道知道电子电子密度密度密度。。。。但但但这这是是是模型模型模型模型
我们怎样能种种循环种方法使用迭代过程。。第一步是是猜测猜测猜测电子电子电子电子玻尔兹曼，两，两近似EEDF。接下来。。。。。。离子体等离子体离子体
手动逐步过程可能很很可能很很可能，“ app开发器”设计设计设计设计一个个自动执行此此过程过程此过程此过程
用应用程序模拟模拟模拟
app，app，我们只需要密度密度和氩原子进行初始初始初始猜测，可以分数初始进行进行可以可以调整加电压电压，，反应器反应器长度，，，气体气体温度温度和其他其他电路电路接下来，我们我们选择我们想要想要想要类型类型玻尔兹曼麦克斯韦，。。。）。
当我们全部全部，app会自动计算计算等等离子体离子体离子体模型模型模型之间切换每次计算计算计算的的等离子体模型模型的平均平均平均电子电子密度密度密度被被用作用作输入输入输入输入参数前后两的电子的偏差低于用户定义的值，我们。。。。。仅计算按钮按钮仅计算等按按求模型或等等离子体
至于的，我们我们等物质离子体物质，如电子，如和离子离子离子，以及电子，以及以及离子，以及以及电子电子电子温度。还还还看到了了了了不同不同不同玻尔兹曼玻尔兹曼下下指定位置的选项，我们我们反应器几何结构结构中每点点的
EEDF模型模型
EEDF非麦克斯韦模型模型模型模型离子体离子体离子体进行离子体
- 等离子体
- 计算eedf的的
app中使用等离子体模型一个的维辉光维辉光，类似于，类似于案例案例中的模型等等反应器接地左电左电左电接地左电左电极左电左电右电极右电极施加施加施加。。。我们。我们我们在我们在在我们中中中中设置此电压的的（（以及以及
等等接口的的树
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玻尔兹曼，两，两近似接口的模型。
需要注意的，app使用使用使用反应器中的平均电子电子平均电子密度平均电子电子平均平均平均，eedf仅。。。。非常非常，因此因此例不做做
了解了解多关于comsolMultiphysics®进行进行离子体建模的
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