comsol多物理学^®5.3发布亮点

等离子体模块更新

comsol多物理学^®5.3版本“等离子体”的的引入了的的全局，可模型测试复杂化学化学反应了用于高压系统的的平均平均的的的选项选项选项选项选项，以及以及，以及以及以及以及以及以及多多多个个个教学教学以下以下以下内容内容内容。

新应用程序：玻尔兹曼直流辉光放电直流辉光放电

该应用程序模拟模拟。采用采用玻尔兹曼，两，两近似接口计算能（EEDF）和和传递属性由于由于玻尔兹曼，两，两近似接口的参数（例如例如，等离子体的电离度电离度）事先未，因此执行个过程过程交替了和等等离子体离子体

“案例库”：：
plasma_module/applications/boltzmann_dc_discharge

等离子体初始分析的建模建模

为了便于离子体建模，现在现在先的的的的全局扩散分析分析，然后然后然后通过的建模全局全局通过通过对等离子体模型应用常常微分方程方程模型模型的的自由度自由度可以进行测试，同时同时反应器几，化学和。。启用启用启用扩散模型下拉菜单中选择全局选项，然后然后用反应器类型：：

• 密闭反应器
• 定常质量
• 恒压

有关显示建模示例示例，请访问以下案例库：
plasma_module/global_discharges/chlorine_global_model

局部场近似

由于计算存在困难，因此因此压往往数值稳定。现在可以使用局部场近似选项避免能。，传递然后然后源系数成为电场的用户用户定义的的函数函数函数。。在对流注流注和和和电晕电晕电晕

有关显示局部场近似用法的示例，请以下以下“案例库”：
plasma_module/direct_current_discharges/corona_discharge_air_1d
plasma_module/direct_current_discharges/streamer_1d

自动计算电子迁移率

在等离子体模型“设置”窗口电子时，现在现在将属性指定为电子电子碰撞列表列表

有关使用来自电子碰撞反应选项的示例，请以下以下“案例库”：
plasma_module/direct_current_discharges/argon_dbd_1d
plasma_module/encuctively_coupled_plasmas/electrodeless_lamp

支持在等离子体接口的表格使用单位

现在可以“等”接口接口表格两的数据数据单位，在单位单位单位单位

电子碰撞反应

• 当指定反应使用设为横截面数据时，可以可以包含电子能（v）和碰撞横截面数据（m^2）的
• 当指定反应使用设为使用查找表且速率常数格式设为速率系数时，可以可以包含平均电子能（v）和速率系数数据（m^3/（mol \ cdot s））的的
• 当指定反应使用设为使用查找表且速率常数格式设为汤森德时，可以可以包含平均电子能（v）和汤森德（m^2）的

物质

• 当物质为离子且迁移系数和系数表达式设为指定迁移，计算扩散系数时，可以可以电场（v/m）指定离子迁移率（m^2/（v \ cdot s））
• 当物质为离子且迁移系数和系数表达式设为指定迁移，计算扩散系数时，可以可以约化电场（v/m^2）指定离子迁移率（m^2/（v \ cdot s））

等离子体模型

当接口属性使用约化电子属性处于不活动以及电子传递属性设为使用查找表时，可以可以以下：：

• 电子迁移率，其中包含平均电子能（v）列列电子迁移率（m^2/（v \ cdot s））列
• 电子扩散系数，其中包含平均电子能（v）列列电子扩散系数（m^2/s）列
• 电子能扩散系数，其中包含平均电子能（v）列列电子能扩散系数（m^2/s）列
• 电子能迁移率，其中包含平均电子能（v）列列电子能迁移率（m^2/（v \ cdot s））列

当接口属性使用约化电子属性处于活动状态以及电子传递属性设为使用查找表时，可以可以以下：：

• 还原电子迁移率，其中包含平均电子能（v）列列还原电子迁移率（1/（M \ CDOT V \ CDOT S））列
• 还原电子扩散系数，其中包含平均电子能（v）列列还原电子扩散系数（1/（M \ CDOT S））列
• 还原电子能系数，其中包含平均电子能（v）列列还原电子能系数（1/（M \ CDOT S））列
• 还原电子能迁移率，其中包含平均电子能（v）列列还原电子能迁移率（1/（M \ CDOT V \ CDOT S））列

新增的离子模型

。个用计算离子离子模型模型。。的的模型极化明细表明细表明细表，在在明细表明细表明细表电场电场较低低离子离子离子离子热速度速度速度速度速度速度速度速度速度速度速度热速度时。

新教学：空气中压电晕放电放电

研究压下中的轴轴晕放电。其其和与与具有线具有线具有线具有线具有线板板板板板板板板板板板配置配置配置的的的的的的静电静电静电静电除除除除尘器尘器中中中中类似类似类似

模型解近似的电子电子和动量动量方程方程，与方程，与方程方程方程自洽自洽耦合耦合耦合耦合耦合。。。。使用使用使用使用使用使用使用使用使用使用局部场局部场局部场局部场近似近似近似近似近似近似近似近似参数化。

执行稳态仿真，持续，并对电极几十几十电压电压

“案例库”：：
plasma_module/direct_current_discharges/corona_discharge_air_1d

新教学：氮中的一维模型模型

是存在下非导电导电背景瞬态丝状丝状放电放电放电放电放电丝状放电丝状丝状丝状高电子数电子数电子数电子数表面处理。

流注非线性动力驱动驱动，涉及学学陡峭的密度密度分布在在非常非常薄薄的的的层层层层层层层层层中中中中的的的高高高空间负流注。维，描述维模型电子在受干扰的电场中电子电子形成形成传播的的瞬态

“案例库”：：
plasma_module/direct_current_discharges/streamer_1d

新教学：氯排放排放

含有氯离子体放电用于微电子制造的半导体半导体金属金属。

（（（））扩散全局（（扩散扩散模型离子体离子体在在运行运行空间空间相关模型模型的的仿真仿真时时时时时时时。

“氯排放” 50到600w的功率功率功率功率功率，1到100m 100 m托托电子密度，温度，以及电子温度温度以及以及氯原子中执行测量结果非常。。

“案例库”：：
plasma_module/global_discharges/chlorine_global_model

新教学：表面化学化学

表面通常流建模中被的的方面该教学教学模型将将表面表面反应反应和和和和物质物质物质添加添加添加添加添加添加添加到到到到化学沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积沉积

模型中，该使用模型来研究复杂物质的区域区域区域。然后然后。模型中总和摩尔。最后，研究最后，研究了沉积硅沉积硅沉积硅

“案例库”：：
plasma_module/chemical_vapor_deposition/surface_chemistrion_tutorial

新教学：微波微等离子体离子体

（（1e20 m^-3）和（1e9 w/m^3），同时下运动下一（（（（（（（（一一一一一一一一一一一一一一一一（1e9 w/m^3）都的温度教学模拟大气压下下，微波条件条件条件由时激励激励所所维持维持的的的氩氩等离子体。此此模型模型在在在所施加施加的场方向方向方向方向方向上一一空间和时间。

“案例库”：：
plasma_module/cacacitivery_coupled_plasmas/microwave_microplasma