等离子体模块

非平衡等离子体

““等”提供内置用户接口接口，用于用于稳态时变维持的的低温低温等离子体反应器反应器其中其中每个接口接口都可定义定义域方程组格，和分析求解器预定义研究研究研究研究研究研究预定义预定义预定义的绘图和和派生值生值生值。所有（电子电子，，离子离子离子物质物质物质物质物质物质物质物质物质物质物质物质物质物质。的方程也：模拟以下：模拟模拟如何从从电场获得能量并在在与背景气气体体的的的

等离子体化学反应

等离子体性质获得真实的仿真结果您可以使用使用使用使用使用使用等离子体模块模块模块模块模块模块来来来碰撞反应反应，

等离子体决定了电子在与气体的碰撞中失去或或获得获得能量能量能量能量。。。。。。。等离子体模块模块模块模块提供提供提供提供提供提供提供了专门专门的的特征用用用用于于于模拟模拟模拟导致导致导致截面数据碰撞，并并可以通过电子分布进行适当适当的积分。。。。。

ICP反应器反应器建模多物理场接口接口

电感耦合等离子体多物理场接口¹用于感应维持的放电。物理场接口将等离子体从等离子体接口连接到磁场接口，并并电流的电子合回合回合回等离子体接口。频域解磁场，并并在中等离子体。。

用于放电建模的接口接口

““等”包含用于热力学平衡等离子体的接口平衡平衡中中中中中中中中中中中中中中中中中中中中中电子电子电子和重重重物质物质具有具有的的温度温度温度温度温度温度温度温度温度温度本模块多个电激励类型的平衡放电接口：平衡直流放电，平衡电感耦合离子体¹和感应/直流直流放电¹。这些磁流方法中将等离子体为一个温度的一流体。平衡放电接口将流动传热，磁场和和进行耦合等等离子体等通过多多物理场物理场耦合耦合耦合特征特征引入引入引入引入引入引入引入引入，这些这些这些特征可以的热源纳入中。

等-表面-表面相互的边界条件条件

作为“等”内置内置界面的部分，其中部分部分部分种种边界边界条件来描述描述等等离子体离子体与与表面表面表面的相互相互相互作用作用作用壁特征来轻松密度和能流，将能流能流能流引入电子方程。如此如此，用户如此如此，用户如此，用户用户如此如此如此如此如此如此如此如此如此如此还

带电电极处自动计算计算，并自动计算添加以模拟外部电路。。如果如果电电电电介质介质与接触接触接触接触接触接触接触接触接触接触

CFD和和传热分析分析

等离子体可以接口相结合结合中失去压力高，这高高会导致的气体和。。。等离子体接口自动离子体产生热源热源热源，并其可用于用于传热传热传热接口接口接口接口黏度和密度在在也也等离子体接口中计算，并可以在在流体流动流动接口中。。

CCP反应器反应器建模接口接口接口

““等”包含种专门的数值方法，ccp进行建模建模通过在数学中一一个维度进行计算。这额外维度维度维度方程方程表示表示表示表示一一射频周期周期周期周期周期周期周期周期周期周期周期周期并并并并并并并并并并并并并并并并并并并并并强制强制执行周期性很长使等离子体达到稳态解种方法不仅可以保持模型的的所有所有所有

用于微波离子体建模的多接口接口

微波等离子体多物理场接口²（（（（（））。放电放电放电。。。当您此此等离子体接口和电磁波接口以及多耦合。等离子体电导耦合特征可以等离子体电导率到到电磁波接口，而电子热源接口可以产生的电子合回合回等离子体接口。频域电磁波，并并在中等离子体。。