mems模块

内置用户界面结果

“ mems”提供的用户界面根据需要的类型类型相互相互作用进行进行定制研究，以及以及的和派生值。您可以在在在在在在在^®环境中所有这些特征。

您计算应力，应变，品质品质因子，，谐振频率和和和散射散射散射参数（（（（（（）可以根据的物理量绘制或计算数学。。。

静电

nemss器件分析分析分析器件器件效应效应效应效应效应效应效应效应的的由由电势电势电势和和电荷电荷分布分布决定决定。。有限有限元元元元（（（（（（（（（（（（（（和和和和和和和和边界元元元元元元法法法法都都都都都都都（成混合-有限-有限元法法（（（。。得到的势场势场，可以得到势场势场势场势场势场势场势场计算计算电容矩阵，，，，电荷密度

静电功能内置多物理场进行进行扩展，例如例如扩展电致电致伸缩和和铁电效应。德拜色散介电介电损耗损耗损耗材料材料材料模型

流-固耦合固耦合（（（（

“ mems模块”的流-固耦合FSI（fsi）多多将流体进行进行耦合耦合，以耦合，以捕捉流体流体与固体固体结构结构结构之间之间的的的双向双向相互作用作用。。可以可以可以是可以“ mems模块”与“微流体”耦合耦合耦合湍流需要需要需要CFD模块或传热模块。，“ cfd模块”还还将和相流与力学相耦合。。

压阻效应

压阻是的在对外加应力作出反应的的变化小型小型压敏压敏电电阻器阻器阻器阻器阻器易于易于易于易于同同标准标准标准的的工艺工艺工艺工艺相相集成集成集成“ mems模块”提供模块建模建模建模对于对于。。对于压阻式建模建模提供提供了多专用专用接口来来模拟模拟模拟模拟模拟实体实体实体实体实体或壳体壳体的的的压阻压阻将将将将。。。。。。。。。。。。。。。。。。。模块模块，可以可以压用户。。

热力耦合

热弹性力学接口将固体力学和固体传热接口起来，其中热阻尼的耦项。热弹性在较较较小小的的的的的的的的的的结构结构中中重要重要重要重要重要重要重要其中其中其中其中的压缩压缩和和膨胀膨胀膨胀区域区域区域非常接近接近接近谐振器谐振器的为阻尼耦合项会会材料时被冷却冷却冷却，在被冷却冷却冷却冷却冷却时时时时时被被加热加热。。固体固体固体的的的冷热冷热区域区域之间产生。

mems谐振器的阻尼

“ mems模块”模拟模拟不同现象现象现象现象现象现象现象阻尼的；；介电，弹性弹性和和压电压电材料材料的各向同性同性和和各向异性损耗因子；；以及以及弹性阻尼阻尼（pml）提供提供最先进出射出射功能分析分析和压电固体压电固体。。您执行执行特征频率，，频率频率响应响应

通过“ mems模块”与“声学”，您相耦合，您您来自周围流体的声阻尼声阻尼

预应力和偏置器件

“ mems模块”可研究机械和热载荷。的谐波扰动分析可以可以此类模型模型的频率响应以及以及以及特征特征频率

不仅如此如此如此用类似的方式分析偏置的的的谐振器谐振器，包括谐振器谐振器谐振器谐振器谐振器谐振器谐振器。。。举例举例，由于，由于来说，由于由于这些器件由由直流直流和偏置如何导致谐振频率。。

焦耳热和热应力

您可以对，，和结构多效应进行耦合。焦耳热和和热膨胀热膨胀的的的预定义预定义多物理场物理场使使您能够能够能够模拟模拟结构中中，，以及由热应力，典型典型应用执行器。材料属性都可以可以线性的的的，并的的的并的导电层，您可以多的专用。。。

压电

的独特工具可稳态，，频域耦合特征和仿真仿真。您您可以可以可以在在在设计设计设计时时时以以任何可以可以可以想象来组合材料材料材料和流体部分。

您模拟电效应效应效应，并-电荷-电荷-电荷-电荷-电荷电荷电荷电荷电荷电荷来来来表示表示压电耦合耦合。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。表示表示表示表示表示表示压电压电耦合耦合。。。。。。。。。。。。。模块模块模块石英。压电在大的的电场电场表现表现出非线性铁电铁电弹性特性特性。。。您您您可以使用使用使用壳体壳体壳体模拟模拟薄层薄层介电介电介电介电和和和压电压电压电压电结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构结构材料模块”来实现。

压电器的可以用压电以及和电介质损耗来来表示表示表示，您您来，您您您来因子您您您您您您您您您您您您您您您您可以可以可以计算计算计算计算介质介质

使用压电接口压电，可以可以和电场，应变应力，电容电容损耗损耗，，导纳，，，和和和

弹性和材料的波动力学

您可以频域时域中弹性波和振动和和传播传播，从而从而传播传播传播传播传播传播换换换能器能器能器能器和谐和谐振器振器振器等等器件

您仿真，您时时选择选择隐式还是方法所有所有所有所有情况下

频域和域仿真有限元元法法法法法法法时域仿真则则基于间断伽辽金间断伽辽金间断伽辽金（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（间断伽辽金间断伽辽金则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则则（Dof）的混合混合混合混合混合数百万数百万的的模型模型。。这种种方法方法显示显示了的并并行行计算性能

对于离开波，您您多种条件进行进行处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理处理无无反射反射边界边界条件，海绵层海绵层，，完美完美完美完美完美（（（（（（（（（（（（

电磁-结构结构作用

机电多接口固体，静电与耦合耦合耦合耦合耦合耦合耦合耦合耦合耦合耦合您您惯性惯性惯性传感器传感器传感器等等等静电静电静电静电驱动驱动驱动的的的的此外此外此外此外此外此外此外此外此外。此外此外。。。。此外“ mems模块”与“ ac/dc模块”耦合使用时，您时时使用​​使用类似的

电致伸缩和弹性材料

（（（（），（（（（（））模拟这现象，您您使用使用电致伸缩接口，其中其中固体力学与静电接口之间多物理场耦合。

铁电弹性接口可用于模拟固体力学与静电的耦合耦合耦合您模拟铁电铁电材料的非线性相互相互作用作用。这这这种种材料的的电极化电极化电极化电极化此外，这这的和机械变形可以强。。

电路

“ mems模块”支持二维和模型模型与与与与，即

对于任何模型组合，您您可以使用使用电路来求解元件的的，电流电流电荷。电路可以可以包含包含电阻电阻，，，电容电容电容和电感等元件元件元件元件导出电路拓扑。