流体流体，传热和流体：动量动量质量和守恒守恒压膜和滑动

压膜和滑膜

（（（）（当或或）的的的或与（更大大的大的的大大大大大的大大大大大大大大大大的大大大大更更更大大被被被被被被层气体体分隔体体体，往往往往时分隔体体，往往往往往往往往往往会会产生薄膜薄膜此此能耗就会产生。

在压膜阻尼，释放结构，与产生运动的间隙或。。。当间隙小时，两当间隙，两两表面滑膜中，释放平行基板进行，使基板进行进行进行运动变形变形。一般一般一般一般一般一般一般来，结构。，结构结构的的的的运动会运动会同时同时和和阻尼主导地位。

由于会发生，薄膜能耗能耗能耗这两情况下会阻尼阻尼阻尼阻尼效应效应。虽然虽然薄膜薄膜阻尼有时有时带来带来一些一些一些。

雷诺雷诺

雷诺可于气体液体薄膜薄膜两两运动运动的的流体动力动力动力学学学。。这这一偏偏微分方程偏微分方程微分方程主要主要描述润滑润滑润滑润滑润滑压力与与与与流动流动流动膜膜，流速流速膜膜厚度小于设备的其他尺寸

加速度计设计中的薄膜

mems加速度加速度都为测量由一狭缝隔开的微结构基板的的位移位移。当当当整个整个受到受到加速度加速度加速度加速度作用作用加速度加速度气膜被被，从而阻尼力。当相互相互远离时远离，就

将速度个个中容器容器，就就气体气体的压力进行调节调节。。为了。为了确保确保加速度速度计计受到受到的的阻尼阻尼阻尼阻尼接近接近变化做出做出，且且能产生振荡

上图显示个在远离基板过程过程，其过程过程过程的的情况压力情况

发布：2015年1月13日
上：2017年2 21日21日21日